ต้องใช้ก้อนวัดและก้อนวัดลื่นที่มีความแม่นยำสูงเพื่อความถูกต้อง ชิ้นส่วนที่ประกอบขึ้นเป็นเครื่องมือเหล่านี้ผลิตจากเหล็กและเซรามิก และมีพื้นผิวเรียบละเอียดมาก (ความเรียบ ≤0.0002 มม.) เครื่องมือวัดเหล่านี้จะผ่านการสอบเทียบซึ่งรับประกันความติดตามผลได้ โดยผ่านก้อนวัดสำหรับการสอบเทียบ ก้อนวัดลื่นมีกำลัง IT0 ล่วงหน้าพร้อมกับก้อนวัดลื่นที่ปรับไว้ล่วงหน้าสำหรับช่วง 0.5 มม. ถึง 1,000 มม. เครื่องมือเหล่านี้ใช้งานร่วมกับ CMMs และตัวเปรียบเทียบแสงในอุตสาหกรรมยานยนต์และอวกาศ โดยใช้มาตรฐานระหว่างประเทศ ISO 10360 และ ASME B89.1.9