Yüksek-duzeği ölçü blokları ve kaydırma ölçüleri doğruluğu sağlamak için gereklidir. Bu cihazların parçaları çelik ve keramikten yapılmıştır ve süper ince düz yüzeler (düzlik ≤0.0002mm) içerir. Bu ölçüm araçları izlenebilirliği garanti eden kalibrasyon süreçlerinden geçirilmiştir ve bu süreçler kalibrasyon ölçü blokları aracılığıyla sunulur. Kaydırma ölçüleri IT0 gücünü önceden ayarlanmış hale getirir ve 0.5mm ile 1000mm aralığındaki kaydırma ölçüleriyle birlikte kullanılır. Bu araçlar otomotiv ve havacılık endüstrilerinde CMM'ler ve optik karşılaştırıcılarla uluslararası standartlar ISO 10360 ve ASME B89.1.9 kullanılarak uygulanır.