उच्च-शुद्धता गेज ब्लॉक्स और स्लिप गेज की सटीकता के लिए आवश्यकता होती है। ये उपकरण स्टील और केरेमिक से बनाए जाते हैं और अत्यधिक समतल सतहें (समतलता ≤0.0002mm) रखते हैं। ये मापन उपकरण कैलिब्रेशन गेज ब्लॉक्स के माध्यम से ट्रेसेबिलिटी की गारंटी देते हैं। स्लिप गेज प्रीसेट पावर IT0 के साथ आते हैं, जिन्हें 0.5mm से 1000mm की सीमा के लिए इस्तेमाल किया जाता है। ये उपकरण CMMs और ऑप्टिकल कम्पेयरटर्स के साथ ऑटोमोबाइल और एयरोस्पेस उद्योगों में अंतर्राष्ट्रीय मानकों ISO 10360 और ASME B89.1.9 का उपयोग करके इस्तेमाल किए जाते हैं।